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发明申请
US20030118802A1 Membrane for capacitive vacuum measuring cell 有权
电容式真空测量电池膜

  • 专利标题： Membrane for capacitive vacuum measuring cell
  • 专利标题（中）： 电容式真空测量电池膜
  • 申请号： US10360229
    申请日： 2003-02-07
  • 公开(公告)号： US20030118802A1
    公开(公告)日： 2003-06-26
  • 发明人: Per Bjoerkman
  • 申请人： INFICON GmbH
  • 申请人地址： null
  • 专利权人： INFICON GmbH
  • 当前专利权人： INFICON GmbH
  • 当前专利权人地址： null
  • 优先权： SE19972954/97 19971223
  • 主分类号： C04B035/10
  • IPC分类号： C04B035/10
Membrane for capacitive vacuum measuring cell
摘要：
A ceramic membrane for a capacitive vacuum measuring cell includes a thin ceramic membrane with a thickness of
摘要（中）：

用于电容式真空测量电池的陶瓷膜包括厚度<250μm，特别是小于120μm的薄陶瓷膜。 膜由Al2O3的带状生坯体制造，并且通过在烧结后使膜平滑而赋予高平坦度。 生坯在比烧结后施加的平滑温度高的烧结温度下烧结。

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