发明申请
- 专利标题： Gas sensor and manufacturing method thereof
- 专利标题（中）： 气体传感器及其制造方法
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申请号： US10889271申请日： 2004-07-12
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公开(公告)号： US20050045477A1公开(公告)日： 2005-03-03
- 发明人: Bee-Yu Wei , Hong-Jen Lai , Pi-Guey Su , Ren-Jang Wu , Hong-Ming Lin , Yi-Lu Sun
- 申请人： Bee-Yu Wei , Hong-Jen Lai , Pi-Guey Su , Ren-Jang Wu , Hong-Ming Lin , Yi-Lu Sun
- 优先权： TW92123548 20030827
- 主分类号： G01N7/04
- IPC分类号： G01N7/04 ; G01N27/00 ; G01N7/00 ; B05D5/12
摘要：
A gas sensor and manufacturing method thereof. The gas sensor includes a substrate, a pair of electrodes disposed on the substrate, and a gas sensing thin film covering the electrodes, the gas sensing thin film is made up of carbon nanotubes and tin oxide.
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