发明申请
US20050250347A1 Method and apparatus for maintaining by-product volatility in deposition process
审中-公开
在沉积过程中维持副产物挥发性的方法和装置
- 专利标题： Method and apparatus for maintaining by-product volatility in deposition process
- 专利标题（中）： 在沉积过程中维持副产物挥发性的方法和装置
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申请号： US11018641申请日： 2004-12-21
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公开(公告)号： US20050250347A1公开(公告)日： 2005-11-10
- 发明人: Christopher Bailey , Richard Hogle , Simon Purdon , Revati Pradhan-Kasmalkar , Aaron Sullivan , Qing Wang , Ce Ma
- 申请人： Christopher Bailey , Richard Hogle , Simon Purdon , Revati Pradhan-Kasmalkar , Aaron Sullivan , Qing Wang , Ce Ma
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C23C16/452 ; C23C16/455 ; H01J37/32 ; H01L21/285 ; H01L21/3065 ; H01L21/44
摘要：
A method and apparatus for introducing a fluorine-containing flow stream to a deposition process to maintain process by-product volatility and reduce or eliminate by-product formation and/or interference.
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