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发明申请
US20060033905A1 Pellicle-reticle methods with reduced haze or wrinkle formation 审中-公开
具有减少雾度或皱纹形成的薄膜 - 掩模版方法

  • 专利标题： Pellicle-reticle methods with reduced haze or wrinkle formation
  • 专利标题（中）： 具有减少雾度或皱纹形成的薄膜 - 掩模版方法
  • 申请号： US10919548
    申请日： 2004-08-16
  • 公开(公告)号： US20060033905A1
    公开(公告)日： 2006-02-16
  • 发明人: Mahmood Toofan , Florence Eschbach
  • 申请人： Mahmood Toofan , Florence Eschbach
  • 主分类号： G03B27/62
  • IPC分类号： G03B27/62
Pellicle-reticle methods with reduced haze or wrinkle formation
摘要：
Methods for using and/or storing a pellicle-reticle assembly that does not result in the formation of haze on the reticle and/or the formation of wrinkles on the pellicle.
摘要（中）：

使用和/或存储防护薄膜组件的方法，其不会导致在掩模版上形成雾状和/或在防护薄膜组件上形成褶皱。

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