发明申请
- 专利标题： Characterizing dimensions of structures via scanning probe microscopy
- 专利标题（中）： 通过扫描探针显微镜表征结构尺寸
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申请号： US10953629申请日： 2004-09-29
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公开(公告)号： US20060071164A1公开(公告)日： 2006-04-06
- 发明人: Duncan Rogers , Vladimir Ukraintsev
- 申请人： Duncan Rogers , Vladimir Ukraintsev
- 申请人地址： US TX Dallas
- 专利权人： Texas Instruments Incorporated
- 当前专利权人： Texas Instruments Incorporated
- 当前专利权人地址： US TX Dallas
- 主分类号： G21K7/00
- IPC分类号： G21K7/00
摘要：
A method comprising characterizing the dimensions of structures on a semiconductor device having dimensions less than approximately 100 nanometers (nm) using one of scanning probe microscopy (SPM) or profilometry.
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