发明申请
- 专利标题： Method for producing a conductive layer
- 专利标题（中）： 导电层的制造方法
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申请号： US11296568申请日： 2005-12-08
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公开(公告)号： US20060128128A1公开(公告)日： 2006-06-15
- 发明人: Bernd Hintze , Stephan Kudelka , Jonas Sundqvist
- 申请人： Bernd Hintze , Stephan Kudelka , Jonas Sundqvist
- 申请人地址： DE Munchen
- 专利权人： INFINEON TECHNOLOGIES AG
- 当前专利权人： INFINEON TECHNOLOGIES AG
- 当前专利权人地址： DE Munchen
- 优先权： DE102004059668.9 20041210
- 主分类号： H01L21/20
- IPC分类号： H01L21/20
摘要：
In a method for producing a conductive layer a substrate is provided. On the substrate, a layer comprised of at least two different metal nitrides is provided. Especially, on a surface of the substrate a first metal nitride layer, on a surface of the first metal nitride layer a second metal nitride layer, and on a surface of the second metal nitride layer a third metal nitride layer is deposited.
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