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发明申请
US20060137613A1 Plasma generating apparatus, plasma generating method and remote plasma processing apparatus 审中-公开
等离子体发生装置，等离子体产生方法和远程等离子体处理装置

  • 专利标题： Plasma generating apparatus, plasma generating method and remote plasma processing apparatus
  • 专利标题（中）： 等离子体发生装置，等离子体产生方法和远程等离子体处理装置
  • 申请号： US10545399
    申请日： 2004-02-13
  • 公开(公告)号： US20060137613A1
    公开(公告)日： 2006-06-29
  • 发明人: Shigeru Kasai
  • 申请人： Shigeru Kasai
  • 优先权： JP2004-018012 20040127
  • 国际申请： PCT/JP04/01533 WO 20040213
  • 主分类号： C23C16/00
  • IPC分类号： C23C16/00
Plasma generating apparatus, plasma generating method and remote plasma processing apparatus
摘要：
A compact plasma generating apparatus providing high efficiency of plasma excitation is presented. A plasma generating apparatus (100) comprises a microwave generating apparatus (10) for generating microwaves, a coaxial waveguide (20) having a coaxial structure comprising an inner tube (20a) and an outer tube (20b), a monopole antenna (21) being attached to one end of said inner tube (20a), for directing the microwaves generated by said microwave generating apparatus (10) to the monopole antenna (21), a resonator (22) composed of dielectric material for holding the monopole antenna (21), and a chamber (23) in which a specific process gas is fed for plasma excitation. The chamber (23) has an open surface and the resonator (22) is placed on this open surface, and the process gas is excited by the microwaves radiated from the monopole antenna (21) through the resonator (22) into the interior of the chamber (23) to generate plasma.
摘要（中）：

提出了一种提供高效等离子体激发的小型等离子体发生装置。 一种等离子体产生装置（100），包括用于产生微波的微波产生装置（10），具有同轴结构的同轴波导（20），其包括内管（20b）和外管（20b），单极天线 21）连接到所述内管（20A）的一端，用于将由所述微波发生装置（10）产生的微波引导到单极天线（21），由用于保持单极子的电介质材料构成的谐振器 天线（21）和其中为等离子体激发而供给特定工艺气体的腔室（23）。 腔室（23）具有开口表面，并且谐振器（22）被放置在该开放表面上，并且处理气体被从单极天线（21）通过谐振器（22）辐射的微波激发到内部 室（23）以产生等离子体。

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