发明申请
- 专利标题： SEM test apparatus
- 专利标题（中）： SEM试验装置
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申请号： US11418081申请日： 2006-05-05
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公开(公告)号： US20070256472A1公开(公告)日： 2007-11-08
- 发明人: Jonathan Gorrell , Mark Davidson , Jean Tokarz
- 申请人： Jonathan Gorrell , Mark Davidson , Jean Tokarz
- 申请人地址： US VI St. Thomas
- 专利权人： Virgin Islands Microsystems, Inc.
- 当前专利权人： Virgin Islands Microsystems, Inc.
- 当前专利权人地址： US VI St. Thomas
- 主分类号： G01V13/00
- IPC分类号： G01V13/00
摘要：
Test apparatus for examining the operation and functioning of ultra-small resonant structures, and specifically using an SEM as the testing device and its electron beam as an exciting source of charged particles to cause the ultra-small resonant structures to resonate and produce EMR.
公开/授权文献
- US07436177B2 SEM test apparatus 公开/授权日：2008-10-14
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