发明申请
US20080230695A1 Method of imaging radiation from an object on a detection device and an inspection device for inspecting an object
失效
对来自检测装置上的物体的辐射进行成像的方法和用于检查物体的检查装置
- 专利标题： Method of imaging radiation from an object on a detection device and an inspection device for inspecting an object
- 专利标题（中）： 对来自检测装置上的物体的辐射进行成像的方法和用于检查物体的检查装置
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申请号： US11727165申请日： 2007-03-23
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公开(公告)号： US20080230695A1公开(公告)日： 2008-09-25
- 发明人: Robert Snel , Arno Jan Bleeker , Hedser Van Brug
- 申请人： Robert Snel , Arno Jan Bleeker , Hedser Van Brug
- 申请人地址： NL Veldhoven
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven
- 主分类号： G01N23/20
- IPC分类号： G01N23/20 ; G03B27/54
摘要：
A method of imaging radiation from an object on a detection device. The method includes directing a beam of coherent radiation to the object, scanning the beam of radiation over an angle in or out of a plane of incidence relative to the object, and imaging scattered radiation from the object on the detection device.
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