发明申请
US20090082983A1 Method and Apparatus for Creating a Spacer-Optimization (S-O) Library
失效
用于创建间隔优化（S-O）库的方法和装置
- 专利标题： Method and Apparatus for Creating a Spacer-Optimization (S-O) Library
- 专利标题（中）： 用于创建间隔优化（S-O）库的方法和装置
-
申请号： US11859596申请日： 2007-09-21
-
公开(公告)号： US20090082983A1公开(公告)日： 2009-03-26
- 发明人: Asao Yamashita , Merritt Funk , Daniel J. Prager , Lee Chen , Radha Sundararajan
- 申请人： Asao Yamashita , Merritt Funk , Daniel J. Prager , Lee Chen , Radha Sundararajan
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： TOKYO ELECTRON LIMITED
- 当前专利权人： TOKYO ELECTRON LIMITED
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 主分类号： G06F19/00
- IPC分类号： G06F19/00
摘要：
The invention can provide a method of processing a substrate using S-O processing sequences and evaluation libraries that can include one or more optimized spacer creation and evaluation procedures.
公开/授权文献
信息查询
