Showerhead electrode

发明申请

US20100000683A1 Showerhead electrode 有权

标题翻译：喷头电极

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专利标题： Showerhead electrode
专利标题（中）： 喷头电极
申请号： US12216525

申请日： 2008-07-07
公开(公告)号： US20100000683A1

公开(公告)日： 2010-01-07
发明人: Babak Kadkhodayan , Rajinder Dhindsa , Anthony de la Llera , Michael C. Kellogg
申请人： Babak Kadkhodayan , Rajinder Dhindsa , Anthony de la Llera , Michael C. Kellogg
申请人地址： US CA Fremont
专利权人： Lam Research Corporation
当前专利权人： Lam Research Corporation
当前专利权人地址： US CA Fremont
主分类号： H01L21/3065
IPC分类号： H01L21/3065 ; H01L21/306

摘要：

A showerhead electrode includes inner and outer steps at an outer periphery thereof, the outer step cooperating with a clamp ring which mechanically attaches the electrode to a backing plate.

摘要（中）：

淋浴头电极在其外周边包括内台阶和外台阶，外台阶与夹板环配合，该夹环将电极机械地附接到背板。

公开/授权文献

US08206506B2 Showerhead electrode 公开/授权日：2012-06-26

信息查询

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04	..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18	...器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/30	....用H01L21/20至H01L21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的（在半导体材料上制作电极的入H01L21/28）
H01L21/302	.....改变半导体材料的表面物理特性或形状的，例如腐蚀、抛光、切割
H01L21/306	......化学或电处理，例如电解腐蚀（形成绝缘层的入H01L21/31；绝缘层的后处理入H01L21/3105）
H01L21/3065	.......等离子腐蚀；活性离子腐蚀