Antireflective Coating Compositions

发明申请

US20100009297A1 Antireflective Coating Compositions 有权

标题翻译：防反射涂料组合物

专利标题： Antireflective Coating Compositions
专利标题（中）： 防反射涂料组合物
申请号： US12133567

申请日： 2008-07-08
公开(公告)号： US20100009297A1

公开(公告)日： 2010-01-14
发明人: Huirong Yao , Guanyang Lin , Jian Yin , Hengpeng Wu , Mark Neisser , Ralph Dammel
申请人： Huirong Yao , Guanyang Lin , Jian Yin , Hengpeng Wu , Mark Neisser , Ralph Dammel
主分类号： G03F7/20
IPC分类号： G03F7/20 ; C08G75/04 ; C08G69/08 ; C08G75/00 ; C08G73/00 ; B05D5/06 ; C08G73/06 ; C08G18/71 ; C08G16/00

摘要：

Antireflective coatings and related polymers are disclosed.

摘要（中）：

公开了抗反射涂层和相关聚合物。

公开/授权文献

信息查询

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/20	.曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B27/00）