发明申请
- 专利标题： DUAL DAMASCENE VIA FILLING COMPOSITION
- 专利标题（中）： 双组分通过填充组合物
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申请号： US12174718申请日： 2008-07-17
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公开(公告)号： US20100015550A1公开(公告)日： 2010-01-21
- 发明人: Weihong Liu , Guanyang Lin , Salem K. Mullen , Jian Yin , Mark Neisser
- 申请人： Weihong Liu , Guanyang Lin , Salem K. Mullen , Jian Yin , Mark Neisser
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G03F7/004
摘要：
Compositions for use in dual damascene process are disclosed.
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