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发明申请
US20100151617A1 Method of growing silicon and method of manufacturing solar cell using the same 有权
生长硅的方法及使用其制造太阳能电池的方法

Method of growing silicon and method of manufacturing solar cell using the same
摘要：
In a method of growing silicon (Si) using a reactor, a supercritical fluid including a silicon Si source and hydrogen flows in the reactor, and the Si source reacts with hydrogen. A base substrate of a solar cell may be formed with Si made using the method of growing silicon (Si). The supercritical fluid may be a fluid in which Si is not oxidized and may be, for example, a CO2 supercritical fluid with a pressure of about 60 to about 200 atm. The Si source may be TriChloroSilane (TCS) (SiCl3H) or SiH4.
摘要（中）：

在使用反应器生长硅（Si）的方法中，包括硅Si源和氢的超临界流体在反应器中流动，并且Si源与氢反应。 太阳能电池的基底可以由使用生长硅（Si）的方法制成的Si形成。 超临界流体可以是其中Si不被氧化的流体，并且可以是例如具有约60至约200atm压力的CO 2超临界流体。 Si源可以是三氯硅烷（TCS）（SiCl 3 H）或SiH 4。

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