发明申请
US20100290972A1 PROCESS AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF HIGH-PURITY SILICON USING MULTIPLE PRECURSORS
审中-公开
使用多种前驱体生产高纯度硅的工艺和装置
- 专利标题： PROCESS AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF HIGH-PURITY SILICON USING MULTIPLE PRECURSORS
- 专利标题（中）： 使用多种前驱体生产高纯度硅的工艺和装置
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申请号： US12444157申请日： 2007-09-27
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公开(公告)号： US20100290972A1公开(公告)日： 2010-11-18
- 发明人: Antonio Cicero , Domenico Di Mola , Rosario Mario Napolitano Melintenda , Igor M. Ulanov
- 申请人： Antonio Cicero , Domenico Di Mola , Rosario Mario Napolitano Melintenda , Igor M. Ulanov
- 申请人地址： IT Roma
- 专利权人： SOLARIA TECNOLOGIE S.R.L.
- 当前专利权人： SOLARIA TECNOLOGIE S.R.L.
- 当前专利权人地址： IT Roma
- 优先权： ITRM2006A000521 20061002
- 国际申请： PCT/IT2007/000675 WO 20070927
- 主分类号： C01B33/021
- IPC分类号： C01B33/021 ; B01J19/08
摘要：
Using a transformer coupled plasma reactor, it is possible to achieve continuous production of plasma which decomposes precursors containing silicon in order to produce pure silicon powder. The pure silicon powder is then gathered, treated and used to produce ingots of silicon for use in photovoltaics or semiconductors.
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