公开(公告)号：US20100290972A1

公开(公告)日：2010-11-18

申请号：US12444157

申请日：2007-09-27

申请人： Antonio Cicero ,  Domenico Di Mola ,  Rosario Mario Napolitano Melintenda ,  Igor M. Ulanov

发明人： Antonio Cicero ,  Domenico Di Mola ,  Rosario Mario Napolitano Melintenda ,  Igor M. Ulanov

IPC分类号： C01B33/021 ,  B01J19/08

CPC分类号： C01B33/021 ,  C01B33/03

摘要： Using a transformer coupled plasma reactor, it is possible to achieve continuous production of plasma which decomposes precursors containing silicon in order to produce pure silicon powder. The pure silicon powder is then gathered, treated and used to produce ingots of silicon for use in photovoltaics or semiconductors.

摘要翻译： 使用变压器耦合等离子体反应器，可以实现等离子体的连续生产，其分解含有硅的前体以产生纯硅粉末。 然后将纯硅粉末收集，处理并用于生产用于光伏或半导体的硅锭。