发明申请
- 专利标题： TITANIA-DOPED QUARTZ GLASS AND MAKING METHOD
- 专利标题（中）： TITANIA-DOPED QUARTZ玻璃和制造方法
-
申请号： US12967175申请日： 2010-12-14
-
公开(公告)号： US20110159413A1公开(公告)日： 2011-06-30
- 发明人: Shigeru Maida , Hisatoshi Otsuka , Tetsuji Ueda , Masanobu Ezaki
- 申请人： Shigeru Maida , Hisatoshi Otsuka , Tetsuji Ueda , Masanobu Ezaki
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 当前专利权人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 优先权： JP2009-294557 20091225
- 主分类号： G03F1/00
- IPC分类号： G03F1/00 ; C03B19/00 ; C03C3/04
摘要：
A titania-doped quartz glass which experiences a reduction in OH group concentration of less than or equal to 100 ppm upon heat treatment at 900° C. for 100 hours is suitable as the EUV lithography member.