发明申请
US20110186941A1 DEVICE WITH MICROSTRUCTURE AND METHOD OF FORMING SUCH A DEVICE
有权
具有微结构的装置和形成这种装置的方法
- 专利标题： DEVICE WITH MICROSTRUCTURE AND METHOD OF FORMING SUCH A DEVICE
- 专利标题（中）： 具有微结构的装置和形成这种装置的方法
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申请号： US12916454申请日： 2010-10-29
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公开(公告)号： US20110186941A1公开(公告)日： 2011-08-04
- 发明人: Johannes van WINGERDEN , Greja Johanna Adriana Maria VERHEIJDEN , Gerhard KOOPS , Jozef Thomas Martinus van BEEK
- 申请人： Johannes van WINGERDEN , Greja Johanna Adriana Maria VERHEIJDEN , Gerhard KOOPS , Jozef Thomas Martinus van BEEK
- 申请人地址： NL Eindhoven
- 专利权人： NXP B.V.
- 当前专利权人： NXP B.V.
- 当前专利权人地址： NL Eindhoven
- 优先权： EP09174891.3 20091103
- 主分类号： H01L29/66
- IPC分类号： H01L29/66 ; H01L21/02
摘要：
Disclosed is a device comprising a substrate carrying a microscopic structure in a cavity capped by a capping layer including a material of formula SiNxHy, wherein x>1.33 and y>0. A method of forming such a device is also disclosed.
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