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发明申请
US20120075607A1 Detector Module, Cooling Arrangement And Lithographic Apparatus Comprising A Detector Module 有权
检测器模块，包括检测器模块的冷却布置和平版印刷设备

Detector Module, Cooling Arrangement And Lithographic Apparatus Comprising A Detector Module
摘要：
A detector module (20) is described that includes at least one detector (30) for sensing photon radiation, an electronic circuit (40) coupled to the at least one detector (30), and a housing (50) having a first and a second body (60, 70), each having a bottom part (62, 72) and an at least partially cylindrical part (64, 74) extending from the bottom part (62, 72), wherein the at least partially cylindrical part (64) of the first body (60) is thermally coupled with the at least partially cylindrical part (74) of the second body (70), wherein the at least partially cylindrical part (64) of the first body (60) extends towards the bottom part (72) of the second body (70), and wherein the electronic circuit (40) is arranged inside the housing (50). A lithographic apparatus including the detector module (20) is also described.
摘要（中）：

描述了检测器模块（20），其包括用于感测光子辐射的至少一个检测器（30），耦合到所述至少一个检测器（30）的电子电路（40）和具有第一和第二检测器 第二主体（60,70），每个具有底部部分（62,72）和从底部部分（62,72）延伸的至少部分圆柱形部分（64,74），其中至少部分圆柱形部分（64,74） 第一主体（60）的至少部分圆柱形部分（64）与第二主体（70）的至少部分圆柱形部分（74）热耦合，其中第一主体（60）的至少部分圆柱形部分（64）朝向底部 第二主体（70）的部分（72），并且其中电子电路（40）布置在壳体（50）内。 还描述了包括检测器模块（20）的光刻设备。

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