发明申请
- 专利标题： METHOD OF LASER PROCESSING
- 专利标题（中）： 激光加工方法
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申请号： US13533424申请日： 2012-06-26
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公开(公告)号： US20120268939A1公开(公告)日： 2012-10-25
- 发明人: Moshe Finarov , Giora Dishon , Ehud Tirosh
- 申请人： Moshe Finarov , Giora Dishon , Ehud Tirosh
- 优先权： IL203408 20100120
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; F21V5/04
摘要：
A method of manufacturing a waveguide within a substrate by local modification of material structure under high power density laser radiation applied from the mostly distant side of the substrate.
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