发明申请
- 专利标题： PARTICLE SOURCES AND APPARATUSES USING THE SAME
- 专利标题（中）： 颗粒来源和使用它的装置
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申请号： US13512401申请日： 2012-05-04
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公开(公告)号： US20130020496A1公开(公告)日： 2013-01-24
- 发明人: Huarong Liu , Ping Chen
- 申请人： Huarong Liu , Ping Chen
- 申请人地址： CN Hefei
- 专利权人： 38th RESEARCH INSTITUTE, CHINA ELECTRONICS TECHNOLOGY FROUP CORPORATION
- 当前专利权人： 38th RESEARCH INSTITUTE, CHINA ELECTRONICS TECHNOLOGY FROUP CORPORATION
- 当前专利权人地址： CN Hefei
- 优先权： CN201110137252.5 20110516
- 国际申请： PCT/CN12/75087 WO 20120504
- 主分类号： H01J29/00
- IPC分类号： H01J29/00 ; H01J27/02
摘要：
The present disclosure provides a particle source comprising a base having a gently-shaped top, and a tip formed as a tiny protrusion on the top of the base.
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