发明申请
US20130126751A1 OPTICAL DEVICE, LASER APPARATUS, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
审中-公开
光学装置，激光装置和超极紫外光发生系统
- 专利标题： OPTICAL DEVICE, LASER APPARATUS, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
- 专利标题（中）： 光学装置，激光装置和超极紫外光发生系统
-
申请号： US13809576申请日： 2011-11-23
-
公开(公告)号： US20130126751A1公开(公告)日： 2013-05-23
- 发明人: Hakaru Mizoguchi , Osamu Wakabayashi
- 申请人： Hakaru Mizoguchi , Osamu Wakabayashi
- 申请人地址： JP Oyama-shi, Tochigi
- 专利权人： GIGAPHOTON INC.
- 当前专利权人： GIGAPHOTON INC.
- 当前专利权人地址： JP Oyama-shi, Tochigi
- 优先权： JP2010-265786 20101129
- 国际申请： PCT/IB2011/002794 WO 20111123
- 主分类号： F21V5/04
- IPC分类号： F21V5/04 ; G01N21/55 ; F21V11/02 ; F21V7/00 ; F21V7/06
摘要：
An optical device may include: a first beam shaping unit configured to transform a first laser beam incident thereon into a second laser beam having an annular cross section; and a first focusing optical element for focusing the second laser beam in a first predetermined location so as to generate a Bessel beam.
信息查询
