发明申请
US20160340780A1 APPARATUS AND METHOD RELATED TO REACTION CHAMBER WITH SHUTTER SYSTEM
审中-公开
与具有快门系统的反应室相关的装置和方法
- 专利标题： APPARATUS AND METHOD RELATED TO REACTION CHAMBER WITH SHUTTER SYSTEM
- 专利标题（中）： 与具有快门系统的反应室相关的装置和方法
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申请号： US14719472申请日： 2015-05-22
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公开(公告)号： US20160340780A1公开(公告)日： 2016-11-24
- 发明人: Paul Swan , Wentao Wang , Timothy J. Sullivan , Michael C. Sarin
- 申请人： ASM IP HOLDING B.V.
- 专利权人： ASM IP HOLDING B.V.
- 当前专利权人： ASM IP HOLDING B.V.
- 主分类号： C23C16/458
- IPC分类号： C23C16/458 ; C23C16/455
摘要：
A reaction chamber assembly with a shutter system may be used in the processing of semiconductor substrates. The shutter system may facilitate gas flow control and temperature control within the reaction chamber assembly.
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IPC分类:
