发明申请
- 专利标题： APPARATUS COMPRISING AT LEAST ONE THZ DEVICE AND METHOD OF OPERATING SUCH APPARATUS
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申请号： US17428940申请日： 2020-07-17
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公开(公告)号： US20220120667A1公开(公告)日： 2022-04-21
- 发明人: Rüdiger Mästle , Henry Thiele , Andreas Godorr
- 申请人： HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FÜR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK
- 申请人地址： DE Sindelfingen
- 专利权人： HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FÜR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK
- 当前专利权人： HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FÜR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK
- 当前专利权人地址： DE Sindelfingen
- 优先权： EP19187325.6 20190719
- 国际申请： PCT/EP20/70382 WO 20200717
- 主分类号： G01N21/15
- IPC分类号： G01N21/15 ; G01N21/3581 ; G01B11/06 ; G01N21/88
摘要：
An apparatus includes at least one Terahertz (THz) device that transmits or receives THz radiation or transmits and receives THz radiation. The apparatus also provides a flow of protective gas in at least one portion of the beam path of the THz radiation.
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