发明授权
- 专利标题： Apparatus for the preparation of semiconductor material
- 专利标题（中）： 半导体材料制备装置
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申请号： US31970663申请日： 1963-10-29
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公开(公告)号： US3231337A公开(公告)日： 1966-01-25
- 发明人: BARKEMEYER HENRY R , MCALEER WILLIAM J , POLLAK PETER I
- 申请人： MERCK & CO INC
- 专利权人： Merck Sharp & Dohme Corp
- 当前专利权人： Merck Sharp & Dohme Corp
- 优先权： US31970663 1963-10-29
- 主分类号： C30B25/02
- IPC分类号： C30B25/02
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