发明授权
US3437888A Method of providing electrical contacts by sputtering a film of gold on a layer of sputtered molybdenum
失效
通过在一层溅射的黄铜上溅射金膜来提供电气接触的方法
- 专利标题： Method of providing electrical contacts by sputtering a film of gold on a layer of sputtered molybdenum
- 专利标题（中）： 通过在一层溅射的黄铜上溅射金膜来提供电气接触的方法
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申请号： US3437888D申请日： 1966-07-01
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公开(公告)号： US3437888A公开(公告)日： 1969-04-08
- 发明人: HALL JOHN H
- 申请人： UNION CARBIDE CORP
- 专利权人： Union Carbide Corp
- 当前专利权人： Union Carbide Corp
- 优先权： US56237966 1966-07-01
- 主分类号： C23C14/18
- IPC分类号： C23C14/18 ; C23C14/34 ; H01L21/00 ; H01L23/485 ; H01L23/522 ; H01L27/00 ; H01L3/12 ; H01L7/00
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