发明授权
- 专利标题： Processing of semiconductor wafers
- 专利标题（中）： 半导体波导的处理
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申请号： US3475867D申请日： 1967-09-18
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公开(公告)号： US3475867A公开(公告)日： 1969-11-04
- 发明人: WALSH ROBERT J
- 申请人： MONSANTO CO
- 专利权人： Monsanto Co
- 当前专利权人： Monsanto Co
- 优先权： US60333666 1966-12-20; US66854667 1967-09-18
- 主分类号： B24B37/27
- IPC分类号： B24B37/27 ; H01L21/00 ; H01L21/302 ; B24B1/00 ; B05B13/02 ; B24B19/00
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