发明授权
US4126712A Method of transferring a surface relief pattern from a wet poly(olefin
sulfone) layer to a metal layer
失效
将透湿垫（OLEFIN SULFONE）层转移到金属层的表面消除图案的方法
- 专利标题： Method of transferring a surface relief pattern from a wet poly(olefin sulfone) layer to a metal layer
- 专利标题（中）： 将透湿垫（OLEFIN SULFONE）层转移到金属层的表面消除图案的方法
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申请号： US710134申请日： 1976-07-30
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公开(公告)号： US4126712A公开(公告)日： 1978-11-21
- 发明人: Eugene S. Poliniak , Nitin V. Desai
- 申请人： Eugene S. Poliniak , Nitin V. Desai
- 申请人地址： NY New York
- 专利权人： RCA Corporation
- 当前专利权人： RCA Corporation
- 当前专利权人地址： NY New York
- 主分类号： G03F7/039
- IPC分类号： G03F7/039 ; G03F7/26 ; B05D3/06
摘要：
This invention pertains to a method for forming a surface relief pattern in a metal layer which comprises forming a wet poly(olefin sulfone) layer on the metal layer, forming a surface relief pattern in the wet poly(olefin sulfone) layer, and sputter etching the surface relief pattern from the wet poly(olefin sulfone) layer into the metal layer.
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