发明授权
- 专利标题： Method and apparatus for forming a pattern
- 专利标题（中）： 用于形成图案的方法和装置
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申请号： US509059申请日： 1983-06-29
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公开(公告)号： US4560997A公开(公告)日： 1985-12-24
- 发明人: Yuichi Sato , Nobuaki Sakurada , Hideaki Kawamura , Yoshitaka Watanabe
- 申请人： Yuichi Sato , Nobuaki Sakurada , Hideaki Kawamura , Yoshitaka Watanabe
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX57-119068 19820707; JPX57-119495 19820708
- 主分类号： B41J2/205
- IPC分类号： B41J2/205 ; H04N1/40 ; G01D15/18 ; H01J40/14
摘要：
Method and apparatus for forming a pattern in which an array duty factor of elementary pattern marks which are elements for forming a picture is no less than 0.5.
公开/授权文献
- US5614795A Field emission device 公开/授权日：1997-03-25