发明授权
- 专利标题： Process for removing contaminant
- 专利标题（中）： 去除污染物的方法
-
申请号： US114941申请日： 1987-10-30
-
公开(公告)号： US4853081A公开(公告)日： 1989-08-01
- 发明人: Walter E. Mlynko
- 申请人： Walter E. Mlynko
- 申请人地址： NY Armonk
- 专利权人： IBM Corporation
- 当前专利权人： IBM Corporation
- 当前专利权人地址： NY Armonk
- 主分类号： B08B7/00
- IPC分类号： B08B7/00 ; C23F4/00 ; H05K3/00 ; H05K3/26 ; H05K3/42
摘要：
Contaminant is removed from the interior of the holes in the vicinity of preselected locations by etching in a gaseous plasma wherein the sheath voltage is controlled in order to direct ions of the plasma to contact the interior of the holes in the vicinity of the preselected locations.
公开/授权文献
- US5437210A Power drive cam assembly 公开/授权日：1995-08-01
信息查询
