发明授权
- 专利标题： Method of monitoring semiconductor manufacturing processes and test sample therefor
- 专利标题（中）： 监测半导体制造工艺的方法及其试样
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申请号： US151436申请日： 1988-02-02
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公开(公告)号： US4963500A公开(公告)日： 1990-10-16
- 发明人: George W. Cogan , Gary E. Miner , Lee A. Christel , James F. Gibbons
- 申请人： George W. Cogan , Gary E. Miner , Lee A. Christel , James F. Gibbons
- 申请人地址： CA Santa Clara
- 专利权人： Sera Solar Corporation
- 当前专利权人： Sera Solar Corporation
- 当前专利权人地址： CA Santa Clara
- 主分类号： G01R31/28
- IPC分类号： G01R31/28 ; H01L21/00 ; H01L21/66 ; H01L23/544
摘要：
Method of determining contaminants in a semiconductor processing apparatus in which a high purity, high carrier lifetime semiconductor test wafer is processed and the degradation of its carrier lifetime is determined.
公开/授权文献
- US6133026A Condensed plasmid-liposome complex for transfection 公开/授权日：2000-10-17
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