发明授权
- 专利标题： Integrated optical precision measuring device
- 专利标题（中）： 集成光学精密测量装置
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申请号： US529216申请日： 1990-05-25
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公开(公告)号： US5127733A公开(公告)日： 1992-07-07
- 发明人: Michael Allgauer
- 申请人： Michael Allgauer
- 申请人地址： DEX Traunreut
- 专利权人： Dr. Johannes Heidenhain GmbH
- 当前专利权人： Dr. Johannes Heidenhain GmbH
- 当前专利权人地址： DEX Traunreut
- 优先权： DEX3918726 19890608
- 主分类号： G01B11/00
- IPC分类号： G01B11/00 ; G01D5/38 ; G02B6/122 ; G02B6/124 ; G02B6/34
摘要：
A photoelectric measuring device for measuring the relative position between two objects utilizing interfering lightwave patterns is provided. Two diffraction gratings having an equal grid constants are provided to perpendicularly impinge beam bundles into circular coupling-in gratings of the integrated optical circuit. In addition, an integrated light source may be coupled-out of the integrated optical circuit.
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