公开(公告)号：US5127733A

公开(公告)日：1992-07-07

申请号：US529216

申请日：1990-05-25

申请人： Michael Allgauer

发明人： Michael Allgauer

IPC分类号： G01B11/00 ,  G01D5/38 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124 ,  G02B6/34

CPC分类号： G02B6/124 ,  G01D5/38 ,  G02B6/34

摘要： A photoelectric measuring device for measuring the relative position between two objects utilizing interfering lightwave patterns is provided. Two diffraction gratings having an equal grid constants are provided to perpendicularly impinge beam bundles into circular coupling-in gratings of the integrated optical circuit. In addition, an integrated light source may be coupled-out of the integrated optical circuit.

摘要翻译： 提供了一种用于测量利用干扰光波图案的两个物体之间的相对位置的光电测量装置。 提供具有相等网格常数的两个衍射光栅将光束垂直地照射到集成光学电路的圆形耦合光栅中。 此外，集成光源可以从集成光学电路耦合出来。

公开(公告)号：US5424833A

公开(公告)日：1995-06-13

申请号：US125110

申请日：1993-09-21

申请人： Walter Huber ,  Michael Allgauer

发明人： Walter Huber ,  Michael Allgauer

IPC分类号： G01D5/38 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01D5/38

摘要： An interferential apparatus and method for measuring displacement in which phase displaced signals may be generated by the proper selection of a light source and the division periods of a plurality of gratings.

摘要翻译： 一种用于测量位移的干涉仪和方法，其中通过光源的适当选择和多个光栅的分割周期可以产生相移信号。

公开(公告)号：US5187545A

公开(公告)日：1993-02-16

申请号：US629842

申请日：1990-12-19

申请人： Michael Allgauer

发明人： Michael Allgauer

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02051 ,  G01B9/02081 ,  G01B2290/30

摘要： A position measuring apparatus for measuring the position of an object having an integrated optical circuit on a substrate comprising a first grating for diffracting a light beam into a reference bundle and a measuring bundle. The first grating couples the reference bundle to an input of a coupler and decouples the measuring bundle from the substrate. The measuring bundle is directed to a reflecting element on the object wherein the measuring bundle is reflected from the object. The coupler has means for inputting signals and for outputting signals wherein the input signals are brought into interference. A second grating couples the reflected measuring bundle to another input of the coupler. Detection means detect the outputs of the coupler and generate phase displaced signals representative of the outputs.

摘要翻译： 一种用于测量在基板上具有集成光电路的物体的位置的位置测量装置，包括用于将光束衍射为参考束的第一光栅和测量束。 第一光栅将参考束耦合到耦合器的输入端，并将测量束与衬底分离。 测量束被引导到物体上的反射元件，其中测量束从物体反射。 耦合器具有用于输入信号并输出​​其中输入信号被干扰的信号的装置。 第二个光栅将反射的测量束耦合到耦合器的另一个输入端。 检测装置检测耦合器的输出并产生代表输出的相移信号。

公开(公告)号：US5963330A

公开(公告)日：1999-10-05

申请号：US842065

申请日：1997-04-24

申请人： Jan Braasch ,  Christian Callimici ,  Michael Allgauer

发明人： Jan Braasch ,  Christian Callimici ,  Michael Allgauer

IPC分类号： H02K11/00 ,  H02K41/02 ,  G01B11/00

CPC分类号： H02K41/02 ,  H02K11/00 ,  H02K2201/18

摘要： An optical position measuring device, in particular for a drive for precise positioning, is recited, which comprises two drive units which are movable in respect to each other, wherein one of the two drive units has a graduation as an integral component. The latter can be scanned by a scanning unit connected with the other drive unit for generating position-dependent output signals. The graduation is directly or indirectly disposed on a level surface of the drive unit, from which a distance between the two drive units is created in such a way that by the cooperation of the two drive units the generation of a defined relative movement between the two drive units is possible.

摘要翻译： 一种光学位置测量装置，特别是用于精确定位的驱动器，其包括可相对于彼此移动的两个驱动单元，其中两个驱动单元之一具有作为整体部件的刻度。 后者可以通过与另一驱动单元连接的扫描单元进行扫描，用于产生位置相关的输出信号。 该刻度直接或间接地设置在驱动单元的水平表面上，从这两个驱动单元之间的距离以两个驱动单元的配合形成两个驱动单元之间的距离，从而产生两个驱动单元之间限定的相对运动 驱动单元是可能的。

公开(公告)号：US5786931A

公开(公告)日：1998-07-28

申请号：US629379

申请日：1996-04-08

申请人： Peter Speckbacher ,  Georg Flatscher ,  Michael Allgauer ,  Erich Bayer ,  Erwin Spanner ,  Andreas Franz

发明人： Peter Speckbacher ,  Georg Flatscher ,  Michael Allgauer ,  Erich Bayer ,  Erwin Spanner ,  Andreas Franz

IPC分类号： G01B11/00 ,  G02B5/18 ,  G03F9/00 ,  G02B27/44 ,  G03H1/04

CPC分类号： G03F9/70 ,  G02B5/1857 ,  G02B5/1861 ,  Y10S359/90

摘要： The phase grating of the present invention includes a substrate with a reflective, continuous layer disposed thereon on which a structured spacer layer 3 of dielectric material is applied. To form a phase grating that can be used as a scale in photoelectric position measuring instruments, a further thin reflective surface layer is located solely on the reflective, continuous surfaces, parallel to the layer, of the structured spacer layer.

摘要翻译： 本发明的相位光栅包括具有设置在其上的反射连续层的衬底，其上施加有介电材料的结构化隔离层3。 为了形成可用作光电位置测量仪器中的刻度的相位光栅，另外薄的反射表面层仅位于结构化间隔层的平行于层的反射连续表面上。

公开(公告)号：US5271078A

公开(公告)日：1993-12-14

申请号：US886326

申请日：1992-05-20

申请人： Andreas Franz ,  Michael Allgauer

发明人： Andreas Franz ,  Michael Allgauer

IPC分类号： G01B11/00 ,  G01D5/38 ,  G02B6/124 ,  G02B6/28 ,  G02B6/34

CPC分类号： G02B6/124 ,  G01D5/38 ,  G02B6/2804 ,  G02B6/34

摘要： A measurement device having a correction grating associated with a gauge and deflects two diffracted partial beams overlappingly, at a very small angle (.alpha.), onto a single coupling grating. From there, two waveguides located closely beside one another are used to introduce the beams into a coupler and the beams are superimposed and evaluated in a known manner. Thus, a position measuring device can be drastically reduced in its structural size with the aid of an integrated optical component.

摘要翻译： 测量装置具有与量规相关联的校正光栅，并以非常小的角度（α）将两个衍射的部分光束重叠地偏转到单个耦合光栅上。 从那里，使用彼此紧密相邻的两个波导将光束引入耦合器，并且以已知的方式叠加和评估光束。 因此，借助于集成的光学部件，位置测量装置的结构尺寸可以大大降低。