发明授权
- 专利标题： Diazodisulfones
- 专利标题（中）： 重氮二砜
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申请号： US962089申请日： 1992-10-16
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公开(公告)号： US5216135A公开(公告)日： 1993-06-01
- 发明人: Fumiyoshi Urano , Masaaki Nakahata , Hirotoshi Fujie , Keiji Oono
- 申请人： Fumiyoshi Urano , Masaaki Nakahata , Hirotoshi Fujie , Keiji Oono
- 申请人地址： JPX Osaka
- 专利权人： Wako Pure Chemical Industries, Ltd.
- 当前专利权人： Wako Pure Chemical Industries, Ltd.
- 当前专利权人地址： JPX Osaka
- 优先权： JPX2-019614 19900130
- 主分类号： G03F7/039
- IPC分类号： G03F7/039
摘要：
A diazodisulfone of the formula: ##STR1## wherein R.sup.1 is a C.sub.3-8 branched or cyclic alkyl group, and R.sup.2 is a C.sub.1-8 straight-chain, branched or cyclic alkyl group, is effective as a photoacid generator when used in a photoresist material for light of 300 nm or less.
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