发明授权
- 专利标题： Fluoresence imaging
- 专利标题（中）： 荧光成像
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申请号： US177500申请日： 1994-01-05
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公开(公告)号： US5498923A公开(公告)日： 1996-03-12
- 发明人: Bruno M. La Fontaine , Donald L. White , Obert R. Wood, II
- 申请人： Bruno M. La Fontaine , Donald L. White , Obert R. Wood, II
- 申请人地址： NJ Murray Hill
- 专利权人： AT&T Corp.
- 当前专利权人： AT&T Corp.
- 当前专利权人地址： NJ Murray Hill
- 主分类号： G02F2/02
- IPC分类号： G02F2/02 ; G03F1/24 ; G03F1/84 ; H01J29/20
摘要：
A single crystal fluorescent material is used in the conversion of a short wavelength image. Conversion to a long wavelength image in the visible spectrum permits use of conventional glass optics for visual observation of UV and x-ray images. An illustrative use is in inspection of masks designed for use in fabrication of large scale integrated circuitry built to submicron design rules.
公开/授权文献
- US6101149A Memory module having module control circuit 公开/授权日：2000-08-08
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