发明授权
US5616451A Method of imaging using a polymeric photoresist having pendant
vinylbenzyl thymine groups
失效
使用具有侧链乙烯基苄基胸腺嘧啶基团的聚合物光致抗蚀剂成像的方法
- 专利标题： Method of imaging using a polymeric photoresist having pendant vinylbenzyl thymine groups
- 专利标题（中）： 使用具有侧链乙烯基苄基胸腺嘧啶基团的聚合物光致抗蚀剂成像的方法
-
申请号： US449017申请日： 1995-05-24
-
公开(公告)号： US5616451A公开(公告)日： 1997-04-01
- 发明人: J. Michael Grasshoff , Lloyd D. Taylor , John C. Warner
- 申请人： J. Michael Grasshoff , Lloyd D. Taylor , John C. Warner
- 申请人地址： MA Cambridge
- 专利权人： Polaroid Corporation
- 当前专利权人： Polaroid Corporation
- 当前专利权人地址： MA Cambridge
- 主分类号： C07D239/54
- IPC分类号： C07D239/54 ; C08F12/26 ; G03F7/027 ; G03F7/038 ; G03F7/30
摘要：
Multi-functional vinylbenzyl and vinylphenyl pendant thymine (and uracil) groups are disclosed. The monomers can be used for the production of polymers useful in photoresist and other compositions as a function of the crosslinking reactivity of the pendant groups. Images in polymer are provided by exposure to actinic radiation (e.g., UV), containing such polymer and by solvent removal of non-exposed regions.
公开/授权文献
- US5033363A Apparatus for popping popcorn 公开/授权日：1991-07-23
信息查询
