发明授权
- 专利标题： Chuck assembly having a controlled vent
- 专利标题（中）： 具有受控通风口的卡盘组件
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申请号： US607064申请日： 1996-02-26
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公开(公告)号： US5688327A公开(公告)日： 1997-11-18
- 发明人: Eugene A. Swain , Peter J. Schmitt
- 申请人： Eugene A. Swain , Peter J. Schmitt
- 申请人地址： CT Stamford
- 专利权人： Xerox Corporation
- 当前专利权人： Xerox Corporation
- 当前专利权人地址： CT Stamford
- 主分类号： B05C13/02
- IPC分类号： B05C13/02 ; B05C13/00
摘要：
A chuck assembly for engaging the inner surface of a hollow substrate including: (a) a body defining a hole, wherein the hole is positioned to be in communication with the air inside the substrate; and (b) a gas pressure regulating apparatus coupled to the hole for regulating the gas pressure inside the substrate.
公开/授权文献
- US4508712A Atrial peptide 公开/授权日：1985-04-02
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