发明授权
- 专利标题： Method of patterned eroding of a coating provided on a substrate
- 专利标题（中）： 设置在基板上的涂层的图案化蚀刻方法
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申请号： US17036申请日： 1998-02-02
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公开(公告)号： US5910396A公开(公告)日： 1999-06-08
- 发明人: Jacobus M. Dings , Remko Horne , Gerardus N. A. Van Veen
- 申请人： Jacobus M. Dings , Remko Horne , Gerardus N. A. Van Veen
- 申请人地址： NY New York
- 专利权人： U.S. Philips Corporation
- 当前专利权人： U.S. Philips Corporation
- 当前专利权人地址： NY New York
- 优先权： EPX94202544 19940906
- 主分类号： B24C1/04
- IPC分类号： B24C1/04 ; G03F7/00 ; G03F7/09 ; G03F7/11 ; G03F7/40 ; G09F9/313 ; H01L23/02 ; H01L23/04 ; H01L23/14 ; H05K3/04 ; H01J9/00 ; B24B1/00
摘要：
In a method in which a top coating (2) on a relatively hard substrate (1) is patterned by means of a stream of kinetic particles while being masked by a mask (3), the substrate (1) is coated with a damping layer (4) of a ductile material before the top coating (2) is provided.
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