发明授权
- 专利标题： Holding mechanism, and exposure apparatus using the mechanism
- 专利标题（中）： 保持机构，使用该机构的曝光装置
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申请号： US792526申请日： 1997-01-31
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公开(公告)号： US6005910A公开(公告)日： 1999-12-21
- 发明人: Yuji Chiba , Shinichi Hara
- 申请人： Yuji Chiba , Shinichi Hara
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX8-044246 19960206
- 主分类号： G03B27/62
- IPC分类号： G03B27/62 ; G03F7/20 ; H01J37/09 ; H01L21/027 ; H01L21/683
摘要：
A holding mechanism includes a box body for providing a space for accommodating an X-ray mask, at least one opening formed at the side of the box body and a holding mechanism for holding the X-ray mask within the space by a kinematic mount system.
公开/授权文献
- US5150634A Control arrangement for automatic automotive transmission 公开/授权日：1992-09-29
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