发明授权
- 专利标题： Method of making wafer based sensors and wafer chip sensors
- 专利标题（中）： 制造基于晶圆的传感器和晶片芯片传感器的方法
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申请号： US877774申请日： 1997-06-17
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公开(公告)号： US6125529A公开(公告)日： 2000-10-03
- 发明人: Carol Zwick Rosen , Donald G. Wickham , John Carter, Jr. , David Sorg
- 申请人： Carol Zwick Rosen , Donald G. Wickham , John Carter, Jr. , David Sorg
- 申请人地址： NJ Edison
- 专利权人： Thermometrics, Inc.
- 当前专利权人： Thermometrics, Inc.
- 当前专利权人地址： NJ Edison
- 主分类号： C30B9/00
- IPC分类号： C30B9/00 ; G01K7/22 ; G01K11/14 ; H01C7/04 ; H01C7/108 ; H01C17/232 ; H01C7/02
摘要：
The present invention relates to making sensors by cutting pieces from a boule or ingot of a metal oxide single crystal. The sensors produced are also described.