发明授权
- 专利标题： Rugged fluid flow and property microsensor
- 专利标题（中）： 坚固的流体流动和性能微传感器
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申请号： US09207165申请日： 1998-12-07
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公开(公告)号： US06184773B2公开(公告)日： 2001-02-06
- 发明人: Ulrich Bonne , Aravind Padmanabhan
- 申请人： Ulrich Bonne , Aravind Padmanabhan
- 主分类号： H01L304
- IPC分类号： H01L304
摘要：
A thermal fluid flow or property sensor having no exposed contact wires or contact pads in the fluid flow path to obstruct measurements, flat fully passivated sensor surfaces and high corrosion resistance is implemented over a honeycombed thermal isolation chamber.
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