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发明授权
US06445006B1 Microelectronic and microelectromechanical devices comprising carbon nanotube components, and methods of making same 有权
包含碳纳米管成分的微电子和微机电装置及其制造方法

  • 专利标题： Microelectronic and microelectromechanical devices comprising carbon nanotube components, and methods of making same
  • 专利标题（中）： 包含碳纳米管成分的微电子和微机电装置及其制造方法
  • 申请号： US09361910
    申请日： 1999-07-27
  • 公开(公告)号： US06445006B1
    公开(公告)日： 2002-09-03
  • 发明人: George R. Brandes , Xueping Xu
  • 申请人： George R. Brandes , Xueping Xu
  • 主分类号： H01L21365
  • IPC分类号： H01L21365
Microelectronic and microelectromechanical devices comprising carbon nanotube components, and methods of making same
摘要：
A microelectronic or microelectromechanical device, including a substrate and a carbon microfiber formed thereon, which may be employed as an electrical connector for the device or as a selectively translational component of a microelectromechanical (MEMS) device.
摘要（中）：

微电子或微机电装置，包括其上形成的基底和碳微纤维，其可用作该装置的电连接器或微机电（MEMS）装置的选择性平移部件。

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