发明授权
US06581623B1 Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels
失效
利用次大气压气体供应船的自动切换气体输送系统
- 专利标题： Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels
- 专利标题（中）： 利用次大气压气体供应船的自动切换气体输送系统
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申请号： US09562300申请日： 2000-05-01
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公开(公告)号： US06581623B1公开(公告)日： 2003-06-24
- 发明人: Kent Carpenter , James Dietz
- 申请人： Kent Carpenter , James Dietz
- 主分类号： F17C1304
- IPC分类号： F17C1304
摘要：
An auto-switching sub-atmospheric pressure gas delivery system, for dispensing gas to a gas-consuming process unit, e.g., a semiconductor manufacturing tool, without the occurrence of pressure spikes or flow perturbations.
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