发明授权
- 专利标题： Optical disc and apparatus for manufacturing a master disc therefor
- 专利标题（中）： 用于制造母盘的光盘和设备
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申请号： US09984251申请日： 2001-10-29
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公开(公告)号： US06882615B2公开(公告)日： 2005-04-19
- 发明人: Masahiro Katsumura
- 申请人： Masahiro Katsumura
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Pioneer Corporation
- 当前专利权人： Pioneer Corporation
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Morgan, Lewis & Bockius LLP
- 优先权： JP2000-334119 20001101
- 主分类号： G11B7/24
- IPC分类号： G11B7/24 ; G11B7/007 ; G11B7/26 ; H01J37/09 ; B32B3/02
摘要：
A master-disc-manufacturing apparatus includes an electron-beam emitting portion for emitting an electron beam, an electron-beam converging portion for converging an electron beam, a retarding voltage applying portion for applying a substrate with a negative potential having a magnitude of decelerating the electron beam, and a vacuum atmosphere producing portion for evacuating a chamber to produce a vacuum atmosphere therein.
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