发明授权
- 专利标题： Apparatus and method for anchoring micromachined structures
- 专利标题（中）： 用于锚定微加工结构的装置和方法
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申请号： US11130025申请日： 2005-05-16
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公开(公告)号： US07134340B2公开(公告)日： 2006-11-14
- 发明人: Howard R. Samuels , Michael W. Judy
- 申请人： Howard R. Samuels , Michael W. Judy
- 申请人地址： US MA Norwood
- 专利权人： Analog Devices, Inc.
- 当前专利权人： Analog Devices, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Norwood
- 代理机构： Bromberg & Sunstein LLP
- 主分类号： G01P15/125
- IPC分类号： G01P15/125 ; H01G7/00
摘要：
Micromachined structures, such as fixed drive or sensing fingers of an inertial sensor, are anchored to a substrate using multiple anchors or elongated anchors in order to reduce the bending or twisting of the micromachined structure about the anchor point.
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