发明授权
- 专利标题： Piezoelectric array with strain dependant conducting elements and method therefor
- 专利标题（中）： 具有应变依赖导电元件的压电阵列及其方法
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申请号： US10326172申请日： 2002-12-23
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公开(公告)号： US07183568B2公开(公告)日： 2007-02-27
- 发明人: Joerg Appenzeller , Phaedon Avouris , Richard Martel , James Anthony Misewich , Alejandro Gabriel Schrott
- 申请人： Joerg Appenzeller , Phaedon Avouris , Richard Martel , James Anthony Misewich , Alejandro Gabriel Schrott
- 申请人地址： US NY Armonk
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： US NY Armonk
- 代理机构： McGinn IP Law Group, PLLC
- 代理商 Ido Tuchman, Esq.
- 主分类号： H01L29/06
- IPC分类号： H01L29/06
摘要：
A structure (and method) for a piezoelectric device, including a layer of piezoelectric material. A nanotube structure is mounted such that a change of shape of the piezoelectric material causes a change in a stress in the nanotube structure.
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