发明授权
- 专利标题： Electro mechanical device having a sealed cavity
- 专利标题（中）： 具有密封腔的电机械装置
-
申请号： US10813026申请日： 2004-03-31
-
公开(公告)号： US07227433B2公开(公告)日： 2007-06-05
- 发明人: Eyal Ginsburg , Alexander Talalyevsky , Eyal Bar-Sadeh
- 申请人： Eyal Ginsburg , Alexander Talalyevsky , Eyal Bar-Sadeh
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Intel Corporation
- 当前专利权人： Intel Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 代理机构： Pearl Cohen Zedek Latzer, LLP
- 主分类号： H03H9/54
- IPC分类号： H03H9/54
摘要：
Briefly, embodiments of the present invention provide an electro-mechanical device, for example, a Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) device, for example, a low-loss Film Bulk Acoustic Resonators (FBAR) filter, and a process to produce the same.
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
