发明授权
- 专利标题： Environmentally stable electro-optic device and method for making same
- 专利标题（中）： 环境稳定的电光装置及其制造方法
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申请号： US11286082申请日： 2005-11-23
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公开(公告)号： US07228046B1公开(公告)日： 2007-06-05
- 发明人: Loren M. Hendry , Jeffrey E. Lewis , Jason C. Grooms , Charles B. Gray
- 申请人： Loren M. Hendry , Jeffrey E. Lewis , Jason C. Grooms , Charles B. Gray
- 申请人地址： US NJ Morristown
- 专利权人： Honeywell International, Inc.
- 当前专利权人： Honeywell International, Inc.
- 当前专利权人地址： US NJ Morristown
- 代理机构： Ingrassia Fisher & Lorenz
- 主分类号： G02B6/10
- IPC分类号： G02B6/10 ; H01L21/00
摘要：
A method is provided for stabilizing an electro-optic substrate employed in a waveguide device. The method comprises cleaning a surface of the substrate, and exposing the device to a reactive oxide to passivate the surface. A layer of sealant is deposited on the substrate in a vacuum to seal the surface.
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