发明授权
US07253417B2 Multi-axis compound lens, beam system making use of the compound lens, and method using the compound lens
有权
多轴复合透镜，使用复合透镜的光束系统，以及使用复合透镜的方法
- 专利标题： Multi-axis compound lens, beam system making use of the compound lens, and method using the compound lens
- 专利标题（中）： 多轴复合透镜，使用复合透镜的光束系统，以及使用复合透镜的方法
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申请号： US10539179申请日： 2003-12-12
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公开(公告)号： US07253417B2公开(公告)日： 2007-08-07
- 发明人: Jürgen Frosien , Pavel Adamec
- 申请人： Jürgen Frosien , Pavel Adamec
- 申请人地址： DE Heimstetten
- 专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft
- 当前专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft
- 当前专利权人地址： DE Heimstetten
- 代理机构： Patterson & Sheridan, LLP
- 优先权： EP02028345 20021217
- 国际申请： PCT/EP03/14140 WO 20031212
- 国际公布： WO2004/055856 WO 20040701
- 主分类号： H01J3/07
- IPC分类号： H01J3/07 ; H01J29/51
摘要：
The invention provides an optical system for a charged particle multi-beam system. The optical system comprises an electrostatic lens component and a magnetic lens component. The components are used to focus a plurality of charged particle beams in a separate opening for each of at least a plurality a charged particle beams traveling through the optical system.
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