发明授权
- 专利标题： Hybrid cantilever and tip
- 专利标题（中）： 混合悬臂和尖端
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申请号： US10915571申请日： 2004-08-11
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公开(公告)号： US07288425B2公开(公告)日： 2007-10-30
- 发明人: Chien-Hua Chen , James McKinnell , Chris Beatty
- 申请人： Chien-Hua Chen , James McKinnell , Chris Beatty
- 申请人地址： US TX Houston
- 专利权人： Hewlett-Packard Development Company, L.P.
- 当前专利权人： Hewlett-Packard Development Company, L.P.
- 当前专利权人地址： US TX Houston
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00
摘要：
A storage device having a read/write mechanism including a cantilever portion. The cantilever portion includes a non-single-crystal silicon body portion and a single crystal silicon tip.
公开/授权文献
- US20060044983A1 Hybrid cantilever and tip 公开/授权日：2006-03-02
信息查询
IPC分类:
